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冷干燥机的后精密度过滤器组，精密过滤器组由二级过滤器组成。分别是T级主管路过滤器与高效除油雾过滤器。T级主管路过滤器精密度为1um，滤除1um和更大的固态与液态颗粒，残留油份含量1ppm w/w。高效除油雾过滤器过滤精度0.01um滤除0.01um和更大的固态与液态颗粒，99.999+%油雾；残留油份含量0.001ppm w/w。压缩空气品质达到ISO8573.1质量等级１级。两个吸附塔交替进行吸附和再生，从而产生流量和纯度稳定的产品氮气。两只吸附器的切换由PLC控制的程控阀自动完成。一台变压吸附制氮装置的性能优劣取决于吸附器、碳分子筛、工艺流程、设备结构以及电磁气动阀等部件的性能。我公司生产的变压吸附制氮装置选用日本三菱公司生产的PLC可编程序控制器，选用德国BF碳分子筛、德国BURKET公司生产的电磁气动阀。就可以产出需要氮气。
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